精密仪器种类繁多、结构各异。对于用于测量的精密仪器而言，可将其结构分为基准、感受转换、转换放大传输、瞄准/读数、数据处理、显示记录、驱动控制、机械结构等八大功能部件。但并不是说一台精密仪器中必须包含上述八大功能部件，而是应根据仪器功能的要求有所选择。

1．基准部件

基准部件为测量提供标准量，测量结果均须与之比较方能得到准确的测量值。因此，它是决定精密仪器精度的主要环节。

基准器件的种类很多，如用于几何量（长度和角度）测量的标准器件：量块、精密测量丝杠、线纹尺、度盘、多面棱体、多齿分度盘、光栅尺（盘）、磁栅尺（盘）、感应同步器、光波等。对于复杂参数，有渐开线样板、表面粗糙度样板等标准件，还有提供标准运动的标准圆运动、渐开线运动和齿轮运动装置。此外还有标准硬度块、频率计，以及时间、照度、流量、色度、激光参数、温度、测力、称重等标准。可根据需要选取。

2．感受转换部件

感受转换部件感受被测量，拾取原始信号以便进一步转换、处理和分析。其精度直接影响整个仪器的精度。

有的仪器的感受转换部件仅起感受原始信号的作用，有的同时还进行一次信号的转换。感受转换部件有两大类：一类为接触式的，如各种机械式探头；一类为非接触式的，如气动非接触测头、光学探头、红外线、涡流测头、拾音器等。

3．转换放大传输部件

转换放大传输部件将感受转换来的微小信号，通过各种原理（光、机、电、气）进一步转换和放大，成为观察者或其下一部件可直接接收的信号，如显示或进一步加工处理。

4．瞄准/读数部件

瞄准/读数部件感受被测量/标准量，用以对零/读数。

瞄准部件用以感受被测量，要求指零准确，一般不做读数用，故不要求其灵敏度。读数部件用以感受标准量，由它产生测量结果。在实际测量中，二者又是可互换，而不是..的。但有的仪器二者不能互换。

5．数据处理部件

数据处理部件对测量数据进行加工、校正、计算等处理。通常由微处理器、微机来完成。

6．显示记录部件

显示记录部件用来显示和存储测量结果，包括的种类很多，如指针表盘、记录器、数字显示器、打印机、荧光图像显示器以及各种ROM和RAM存储器、磁盘、CF和SD等各种存储卡。

7．驱动控制部件

驱动控制部件驱动测量部分的测头移动或驱动工作台实现测量动作；在自动检测仪器中，其对数据处理部件的输出——测得的误差量进行放大转换，驱动执行元件实现系统的动作。

8．机械结构部件

机械结构部件是用以保障其他部件功能实现的连接、支承、保护、限位、移动导向的机械结构。主要有基座、支架、导轨、工作台、轴系以及其他部件，如微调、锁紧、限位、保护等机构。它是仪器中不可缺少的部件，其精度有时对仪器精度的影响起决定作用。